四（甲乙胺）鋯

關(guān)鍵詞：

MO源領(lǐng)域、電子級(jí)碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機(jī)油領(lǐng)域

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產(chǎn)品描述

中文名	化學(xué)式	CAS號(hào)	英文簡稱	英文名	類別
四（甲乙胺）鋯	C12H32N4Zr	175923-04-3	TEMAZ	Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium	前驅(qū)體

四（甲乙胺）鋯（TEMAZ）
化學(xué)式	C12H32N4Zr
中文名稱	四（甲乙胺）鋯
英文名稱	Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium
CAS No.	175923-04-3
分子量	323.63
應(yīng)用	主要用于CVD、ALD、等離子體增強(qiáng)原子層沉積(PEALD)工藝，是生產(chǎn)ZrO2的前驅(qū)體。 ZrO2在45nm晶體管的制備中代替二氧化硅，可以顯著減少漏電量，還是COMS和動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)（DRAM）的高k絕緣材料，是目前解決動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)和高清顯示技術(shù)難題的最優(yōu)選材料之一；可作阻變存儲(chǔ)器的介質(zhì)層前驅(qū)體；可作鋰離子電池正極包覆沉積前驅(qū)體。
產(chǎn)品規(guī)格	6N（99.9999%）